同軸流量測量

AWM5000 系列微橋氣體質量流量傳感器采用文丘里管型流量外殼。該系列可測量速度高達 20升/每分(SLPM) 且最大壓降為 2.25' H2O 的氣流。微橋芯片直接與氣流接觸，大大減少了由于通氣孔或旁路堵塞引起的誤差。

堅固、通用的封裝
堅固的塑料封裝被設計為能承受最高 50 psi 的共模壓力，且小型傳感元件能承受 100 g 的沖擊，而不會影響性能。隨附的“AMP”兼容連接器可提供超可靠的連接，適用于要求嚴苛的應用。

內置信號調節
每個 AWM5000 傳感器都包括可執行放大、線性化、溫度補償和氣體標定功能的電路系統。無論流量范圍 (5、10、15 或 20 SLPM) 或校準氣體（氮氣、二氧化碳、一氧化二氮或氬氣）如何，所有產品都可能達到 1 至 5 Vdc 的線性輸出。主動激光可進行所有校準。

• 補償溫度范圍

• 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F]

• 流量/壓力范圍

• 0 SLPM 到 5.0 SLPM

• 0 SLPM 到 10.0 SLPM

• 0 SLPM 到 15.0 SLPM

• 0 SLPM 到 20.0 SLPM

• 響應時間

• 最大 60 ms

• 電源電壓

• 最小 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，最大 15.0 Vdc

• UNSPSC 代碼

• 41111931

• 沖擊

• 峰值為 100 g，半正弦為 6 ms（3 次下降，每次沿著 3 軸方向）

• 輸出溫漂

• ±7% 讀數

• ±10% 讀數

• 零位

• 最小 0.95 Vdc，典型值 1 Vdc，最大 1.05 Vdc

• 端口類型

• 1/4 英寸 - 18 NPT

• 信號調節

•  放大

• 可重復性

• ±0.50% 讀數

• UNSPSC 商品

• 41111931 流量傳感器

• 調整點的輸出電壓

• 20 SLPM 時為 5.0 Vdc

• 5 SLPM 時為 5.0 Vdc

• 15 SLPM 時為 5.0 Vdc

• 10 SLPM 時為 5.0 Vdc

• 存儲溫度

• -20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]

• 介質兼容性

• 僅干燥氣體

• 重量

• 60 g

• 系列名稱

• AWM5000

• 功耗

• 最大 100 mW

• 工作溫度

• -20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]

• 整個溫度范圍內的零位

• 典型值 ±0.050 Vdc，最大 ±0.20 Vdc

• 共模壓力

• 50 psi

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