實的測定功能
使用一臺即可進行反射率、膜厚、物體顏色、透過率、入射角45度反射率的各種分光測定。
測定反射率
測定以物鏡聚光的Φ17~70μm的微小點的反射率。
![]() 反射率測定光路圖 | |
![]() 反射率測定例:鏡片 | ![]() 反射率測定例:鏡片周邊部位 |
![]() 膜厚測定的圖例 | 測定膜厚活用反射率數(shù)據(jù),測定約50nm~約10μm的單層膜、多層膜的膜厚。 |
![]() 物體色的測定圖例 | 測定物體顏色根據(jù)反射率數(shù)據(jù)顯示XY色度圖、L*a*b*色度圖及相關(guān)數(shù)值。 |
測定透過率 (選配)
從受臺下部透過?2mm的平行光,測定平面樣品的透過率。
![]() 透過率測定光路圖 |
測定入射角為45度的反射率(選配)
從側(cè)面向45度面反射?2mm的平行光,測定其反射率。
![]() 45度反射率測定光路圖 |
域的高精度&高速測定
![]() 光學(xué)系圖 | 實現(xiàn)高速測定使用平面光柵及線傳感器進行全波長同時分光測定,從而實現(xiàn)高速測定。 |
![]() 反射率測定圖例 | 十分適用于測定細小部件、鏡片的反射率新設(shè)計了可以在?17~70μm的測定區(qū)域中進行非接觸測定的專用物鏡。通常的分光光度計不能進行測定的細小電子部件或鏡片等的曲面,也可以實現(xiàn)再現(xiàn)性很高的測定。 |
![]() 消除背面反射光的原理 | 測定反射率時,不需要背面防反射處理將專用物鏡與環(huán)形照明組合,不需要進行被檢測物背面的防反射處理,就可測定最薄0.2mm的反射率*。*使用40×物鏡時,在本公司的測定條件下進行測定。 |
可選擇的膜厚測定方法
根據(jù)測定的分光反射率數(shù)據(jù)進行單層膜或多層膜的膜厚解析。可以根據(jù)用途選擇最佳的測定方法。
![]() 峰谷法膜厚解析經(jīng)過信息圖例 | 峰谷法這是一種根據(jù)測定的分光反射率值的峰值與低谷的周期性計算出膜厚的方法,對于測定單層膜是有效的。不需要復(fù)雜的設(shè)置,可以簡單地求出。 |
![]() 傅里葉轉(zhuǎn)換法膜厚解析經(jīng)過信息圖例 | 傅里葉轉(zhuǎn)換法這是一種根據(jù)測定的分光反射率值的周期性計算膜厚的方法,對于單層膜及多層膜的測定有效。難以檢測出峰值及低谷等時,可以幾乎不受噪音的影響進行解析。 |
![]() 曲線調(diào)整法膜厚解析經(jīng)過信息圖例 | 曲線調(diào)整法這是一種通過推算測定的分光反射率值與根據(jù)某種膜構(gòu)造計算的反射率的差達到最小的構(gòu)造計算出膜厚的方法,對于單層膜及多層膜的測定有效。還可以進行不會出現(xiàn)峰值及低谷的薄膜解析。 |
多樣化應(yīng)用
高速、高精度地應(yīng)對多樣化測定需求。
![]() | 通過測定球面、非球面的鏡片、濾鏡、反射鏡等光學(xué)元件的反射率,進行涂層評價、物體顏色測定、膜厚測定。數(shù)碼相機鏡片 |
![]() | 適用于LED反射鏡、半導(dǎo)體基板等微小電子部件的反射率測定、膜厚測定。LED包裝 |
![]() | 適用于平面光學(xué)元件、彩色濾鏡、光學(xué)薄膜等的反射率測定、膜厚測定、透過率測定。液晶彩色濾鏡 |
![]() | 適用于棱鏡、反射鏡等45度入射產(chǎn)生的反射率測定。棱鏡 |
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13265803631/鴻澤